Präzisere Gasflussmessung mit NEMS-Sensoren
17.09.2024Vielleicht haben Sie schon von MEMS (Mikroelektromechnische Systemen) gehört, aber was sind NEMS? Als regelmässiger nano.swiss-User ahnen Sie es vielleicht schon: Nanoelektromechanische Systeme (NEMS) stellen eine Weiterentwicklung der etablierten MEMS dar. Während MEMS bereits in zahlreichen Bereichen wie Sensorik, Medizintechnik und Kommunikationssystemen etabliert sind, zeichnen sich NEMS durch ihre noch kleinere Struktur aus, die in den Nanometerbereich reicht.